疑难解答
news
[等离子清洗机]常用气体
等离子清洗机使用的气体,工艺参考配方:常用氧气+氩气,根据清洗材质的不同,可分别使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体,不同类型的气体在清洗过程中的反应机理是不同的,活泼气体的等离子体具有更强的化学反应活性,不同气体的等离子体具有不同的化学性能,如氧气的等离子体具有很高的氧化性,能氧化光刻胶反应生成气体,从而达到清洗的效果;腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性,这样就能满足刻蚀需要。
氧气(Oxygen,O2):清洗方式:物理+化学
氮气(Nitrogen,N2):清洗方式:物理+化学
二氧化碳(Carbon,CO2):清洗方式:物理+化学
氩气(Argon,Ar):清洗方式:物理
压缩空气(Compressed Air,CDA):清洗方式:物理+化学
热门资讯
2023.04.13
2023.04.13
2023.04.13
2023.04.13